基礎器件
光纖壓力傳感器
  • 來源:
  • 發布時間:2018-04-12

  通過MEMS技術及真空樣機鍵合工藝,利用超薄硅片的形變感受外界壓力的變化,通過采集硅片上反射回來的光信號,解算出硅片的變形量,進而得出外界壓力的大小。

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